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SF6大容量羅茲泵真空泵裝置

SF6大容量羅茲泵真空泵裝置

型    號:
更新時間:2017-05-04
報    價:10000

為了保護真空泵,真空泵前的電磁閥在過壓的情況下不能打開。真空泵和羅茲泵從開始就一起啟動。空氣流經(jīng)羅茲泵的旁通管。羅茲泵在壓力低于30mbar時達到其Z大的抽氣功率1000m3/h, 能夠防止真空泵裝置通常發(fā)生的在低壓下抽真空能力的下降,實現(xiàn)氣室的良好干燥和快速除氣的目的。

SF6大容量羅茲泵真空泵裝置概述:
    

為了保護真空泵,真空泵前的電磁閥在過壓的情況下不能打開。真空泵和羅茲泵從開始就一起啟動??諝饬鹘?jīng)羅茲泵的旁通管。羅茲泵在壓力低于30mbar時達到其zui大的抽氣功率1000m3/h, 能夠防止真空泵裝置通常發(fā)生的在低壓下抽真空能力的下降,實現(xiàn)氣室的良好干燥和快速除氣的目的。


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